MEMS(MicroElectroMechanical Systems)
マイクロ電子技術システム>>マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム
分子レベルで開発されるバイオ・コンピュータなどが登場するようになり、これまですでに利用されている既存の機械開発にも物理的に取り入れることで、極小のマシンが開発されるようになってきていることから登場した分子レベルのマシン技術です。
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physicstoday54号で紹介された車のマイクロ・エアーバックセンサー
physicstoday54号で紹介されたマイクロ・マイクロフォン
physicstoday54号で紹介されたDMD(Digirtal Micromirror Device)
physicstoday54号で紹介されたMEMS magnetometer
physicstoday54号で紹介されたマイクロ顕微鏡
ST Microelectronics社が開発したMEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)のプロトタイプ
「カートリッジ型前処理デバイス」と「マイクロ検査チップ」
サンディア国立研究所が2004年9月30日に公開したリリース
10ナノメートル動いた物体を裸眼で確認することが可能になるモーション・センサー
レーザー・ビームを利用したモーション・センサー動作環境
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